基本解释[计算机科学技术]扫描式电子束光刻[电子、通信与自动控制技术]扫描式电子束光刻词组短语短语direct write electron beam lithography 直写式电子束光刻write electron beam lithography更多词组专业释义计算机科学技术扫描式电子束光刻电子、通信与自动控制技术扫描式电子束光刻